首先因（yīn）素是零件本（běn）身的加工精度差（chà），一般來說如果在安裝的時候，軸間的動態誤差沒有調整好，亦或者是因為軸傳動鏈因為磨損產生變化都會（huì）影（yǐng）響零件的精度。一般來說這種類型的誤差導致的精度篇查可以重新調整補（bǔ）償量解決。而誤差如果太大甚至如果產生報警的話（huà），有必（bì）要對伺服電機進行檢查，觀察其轉速是否過（guò）高。
其次因素是機床在運行時超調也（yě）會影響加工精度，有可能是因為加減速時間過短，適當（dāng）的延長變化時間，當然（rán）了也極有可能是（shì）因為絲杠與伺服電機的鏈接產生鬆動。
然後因（yīn）素（sù）是因為兩軸聯（lián）動產生的圓度超差，機械未（wèi）調整好形成圓的軸向變形，軸的（de）絲杠間隙補償不（bú）對或者（zhě）是軸定位發生偏（piān）移（yí），都可能會對精密零件的精度產生影（yǐng）響（xiǎng）。